1.洁净度

洁净度是洁净室的基本的技术指标，其单位是单位体积的空气中粒径不小于某一尺寸的微粒个数。

2.微生物浓度

微生物浓度时洁净室的另一项重要技术指标，其单位是单位体积的空气中微生物的个数。

3.温度

温度时基本的工作条件，几乎所有的洁净室对于温度都有明确的要求，温度会影响物体的尺寸，从而影响加工的精确度，所以精密加工对于温度有相当严格的要求，温度会影响仪器的参数，从而产生误差，所以精密测量仪器对于温度的要求也较高。

4.湿度

湿度也是基本的工作条件，几乎所有的洁净室对于湿度都有明确的要求，湿度较大会使许多物质发生化学反应，从而影响产品质量，甚至使设备失效，产品报废。

5.风速与风量

足够的风速和风量是洁净度的保证，过大的风速与风量不仅浪费能量，而且有时会影响正常的工作。

6.气压与压差

正常的气压式正常工作的基本条件。必要的压差是控制漏气方向的手段。微电子行业的洁净室为了保证洁净度，不允许低洁净度的空气向高洁净度区域泄露。

7.噪声

过大的噪声不仅会影响正常的工作，而且会影响人员的身体健康，降低噪声是洁净室的一项基本要求。

8. 照度

适当的照度是正常工作的必要条件。