项目规模与设施：占地面积广阔，拥有多个高度洁净的生产车间。车间采用先进的空气净化系统，能够确保空气中的微粒数量控制在极低水平，满足半导体生产对环境的严苛要求。整个车间的布局合理，分为不同的功能区域，如晶圆加工区、检测区、封装区等，各区域之间通过高效的物流系统连接，提高了生产效率。

技术创新：在净化技术方面，采用了多级过滤系统，包括初效、中效和高效过滤器，确保空气的纯净度。同时，引入了智能化的环境监测系统，实时监测车间内的温度、湿度、压力等参数，并能够自动调节，以保持稳定的生产环境。此外，该项目还在节能方面进行了创新，采用了高效的能源回收系统，降低了能源消耗。

成果与效益：该项目的成功建设，为中芯国际的半导体生产提供了可靠的保障。生产出的芯片质量稳定，良品率高，在国内外市场上具有很强的竞争力。同时，该项目也为当地带来了显著的经济效益，创造了大量的就业机会。